德国德尔格 Polytron 3500 气体检测仪
德国德尔格 Polytron 3500 气体检测仪产品优势半导体工业的气体监测专家：德尔格Polytron3500基于裂解原理，用于连续监测环境中的毒气如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500变送器集所有必要功能位一体，如气体采样，处理和分析。选择性监测 选择合适的热解炉内...
产品详细
产品优势
半导体工业的气体监测专家：德尔格Polytron3500基于裂解原理，用于连续监测环境中的毒气如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500变送器集所有必要功能位一体，如气体采样，处理和分析。
选择性监测
选择合适的热解炉内部温度和合适的传感器，可对三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有机化合物（如 C4F6、C5F8 和其它 PFC）进行选择性监测。
使用方便
该热解器基本无需操作上的设置或调整。 4 至 20 mA 输出信号外加特殊状态信号可直接连至另一系统做进一步信号处理。
安装快速而简单
分体式设计理念——由安装基座和变送器主机构成，可以节省时间和成本。基座可以预先安装。 设备试运转时，主机可通过插锁方式与基座连接，预热过后即可投入运行。
测量结果可靠
采用最前沿电子技术以及全屏蔽金属外壳，使得德尔格变送器具有卓越的抗射频干扰性能。内置泵和高温裂解炉持久耐用，能够长期可靠运行。高端分流系统采用无干扰测量模式（针对常规流速0.5-1.5l/min）。