Описание
Преимущества продукта
Эксперты по газовому мониторингу в полупроводниковой промышленности: Dräger Polytron 3500 основан на принципах крекинга и используется для непрерывного мониторинга токсичных газов, таких как NF3 в окружающей среде и фторидов, таких как C4F6 и C5F8. Передатчик Polytron 3500 интегрирует все необходимые функции, такие как отбор проб, обработка и анализ газа.
Селективный мониторинг
Выбирая соответствующую внутреннюю температуру пиролизной печи и соответствующие датчики, можно селективно контролировать трифторид азота (NF3) или фторированные/хлорированные органические соединения (такие как C4F6, C5F8 и другие ПФК).
Просто в использовании
Этот пиролизный блок практически не требует оперативной настройки или настройки. Выходные сигналы от 4 до 20 мА, а также специальные статусные сигналы могут быть напрямую подключены к другой системе для дальнейшей обработки сигналов.
Установка быстрая и простая
Концепция разделённого дизайна — включающая монтажную базу и основной механизм передатчика, что экономит время и расходы. Основание можно предварительно установить на месте. Во время испытательной эксплуатации основной блок может быть подключён к основанию с помощью механизма затворного замка, и после предварительного нагрева он может быть введён в эксплуатацию.
Достоверные результаты измерений
